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导读 大家好,小万来为大家解答以上的问题。射频溅射,关于射频溅射介绍这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!1、 射频溅射是利用射频...
大家好,小万来为大家解答以上的问题。射频溅射,关于射频溅射介绍这个很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!
1、 射频溅射是利用射频放电等离子体中的正离子轰击靶材、溅射出靶材原子从而沉积在接地的基板表面的技术。
2、 射频溅射: 用交流电源代替直流电源就构成了交流溅射系统, 由于常用的交流电源的频率在射频段( 5~30MHz ) 所以这种溅射方法称为射频溅射。
3、 射频溅射射频溅射几乎可以用来沉积任何固体材料的薄膜,获得 的薄膜致密、纯度高、与基片附着牢固、建设速率大、 工艺重复性好。常用来沉积各种合金膜、磁性膜以及 其他功能膜。
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